7月9日  ，由目前我国本土集成电路创新顶级控卫主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方向交流会”以六大会场加于网连线的多种渠道同步即将举行 。于网频道集成电路全产业链各环节的优秀企业本身、高校和科研院所的千余位主要代表参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海哲嗣受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核心技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI）  ，斩获核心技术创新奖。

　　“IC创新奖”由目前我国本土集成电路创新顶级控卫主办  ，面向目前我国集成电路产业链上下游企事业本单位征集  ，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业化、产业链上下游首次合作  ，是集成电路产业最最关键点核心技术奖项就成  ，不仅核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和最关键点核心技术开发其它方面斩获重大突破的本单位和大团队 。本次摘得细分行业重磅赛事的最关键点奖项 ，再再一次彰显出东方晶源在电子束检测、量测核心领域的核心技术实力超群和细分行业的设计高度认可。

　　检测是芯片制造厂商大大斩获基础水平良率的最关键点其他方式。电子束检测设备较强超高精度  ，在高端芯片制造复杂过程 发挥的功效愈来愈大。到目前  ，该类设备被目前我国厂商垄断  ，就成制约目前我国芯片制造自主可控的最关键点瓶颈。东方晶源数年磨剑  ，成功完成研声音目前我国首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可直接直接提供的纳米级缺陷检测和深度分析最终解决方案。到到目前予以 目前我国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证然而表明原因指标与目前我国一线对标机台高达同等基础水平  ，成功完成最终解决目前我国在电子束检测核心领域的最关键点核心技术最终解决。

　　东方晶源在电子束检测、量测核心领域已深耕多年并成功完成强势推出多款设备  ，斩获重大突破。除本次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸最关键点尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于十月份 6月正式进入产线验证  ，到目前可完成成熟制程量产验证  ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异产品需求提出要求要求  ，性能再再一次改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于十月份 3月正式进入产线验证  ，到目前还没有正式进入新客户产线小规模试产。不仅 ，东方晶源还于近几日近期发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，到目前该设备工程机（Alpha机）还没有予以 首轮wafer demo  ，也可产品需求28nm及高达能 制程产品需求 ，Beta机集成其它工作加速推进中  ，已斩获新客户订单  ，正式进入产线验证指日可待。

　　就成该家 聚焦集成电路良率管理核心领域  ，以大大斩获基础水平芯片制造门槛为使命的半导体企业本身 ，东方晶源一直以来以研发创新为发展方向核心 ，态势的丰富其他产品矩阵并大大斩获基础水平其他产品性能 ，填补多项目前我国空白。未来几年  ，东方晶源将再再一次立足一体化相关软件其它平台和检测装备两大核心领域  ，以新客户为中心一  ，以整个市场为导向  ，态势的予以 核心技术突破与其他产品创新 ，与目前我国集成电路产业上下游企业本身勠力同心  ，推动目前我国集成电路制造产业再再一次高速发展方向。