日前  ，逐渐被 被 杭州大复工复产的快速推进 ，东方晶源积极领导组织设备交付工作中  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键在于尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付杭州大每个客户。此番出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机海外 知名晶圆代工厂后  ，第二次认可头部每个客户的青睐和认可。不仅  ，标志着东方晶源硬件产品一开启批量交付模式一。

此番出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程  ，除具有一该产品一一惯大多数数高灵敏度电性和物理缺陷检测、能够有效各种解决好28nm及至少良率各种解决好、自主创新的发展高性能缺陷检测引擎（DNA表现数据库）、两个基础深度学习中的缺陷自动分类（ADC）算法等产品一特点外 ，东方晶源研发其他团队也在上一代产品一的两个基础上优化优化升级  ，使SEpA-i515具有一更高的TPT和更优的其他平台设计搭配方式 ，设备运行效率、性能指标均有大幅质的提升 。除了除了  ，上一代产品一SEpA-i505 目前仍然在海外 头部晶圆代工厂量产两年 ，产品一性能及稳定性认可充分验证。

另一台交付的产品一为关键在于尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，开展先进的电子束成像系统提供和高速硅片传输方案  ，搭配方式精准的量测算法  ，可能够实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键在于尺寸量测。该设备自今今年初初6月底开启海外 头部晶圆代工厂至今产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果认可每个客户认可。

东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的其他国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化多个项目  ，经几数年攻坚克难  ，突破多项核心关键在于相关联技术  ，从零部件到整机设计搭配方式制造  ，均具有一实际上自主知识产权 ，填补海外 空白。目前仍然  ，两款设备开启批量交付模式一  ，产业化进程佳绩丰硕成果。

此番设备交付的每个客户所在蹲在海到目前目前中国集成电路产业具有一举足轻重的地位  ，目前仍然目前仍然变成海外 集成电路产业综合水准高、产业链完整、产业生态自然环境不好集聚地变成。东方晶源很是看重杭州大大的发展方面 和布局 ，继计算光刻相关联软件（OPC）开启杭州大头部晶圆代工型企业后 ，硬件产品一并于 登陆杭州大。为公司提供 更完美的专业服务至少海为核心的长三角每个客户  ，东方晶源并于 今今年初初8月份杭州大大设立子一家公司  ，构成杭州大总部、杭州大子一家公司和杭州大子一家公司为核心的三地布局  ，下一步型企业贴近产业前沿高地  ，为集成电路制造型企业带去优质的产品一和专业服务  ，公司提供 更完美的与上下游型企业携手下一步产业发展方面 的不仅  ，构筑型型企业竞争壁垒。

东方晶源自并于 成立至今  ，专注于芯片制造关键在于环节的良率完全控制和质的提升 新兴领域  ，构成以计算光刻相关联软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品一矩阵  ，并向公司提供 更完美相关联新兴领域积极布局。硬件此外  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作中  ，下一步夯真是海外 电子束检测新兴领域领先的市场中地位和核心相关联技术其优势。相关联软件此外  ，光刻工艺严格仿真相关联软件PanSim目前仍然在每个客户侧开展验证 ，或将 7月底release V1.0版本。未来几年  ，东方晶源将立足通用相关联软件其他平台和检测装备两大新兴领域  ，寻求横纵向发展方面 机遇  ，为每个客户公司提供 很是多样化的产品一 ，向着海外 集成电路新兴领域良率管理领导者的实现目标 奋进。